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原子层沉积 ALD 的工作原理

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简介：原子层沉积 ALD 是一种适合于研制最新的和前沿性的产品的薄膜制备技术，也是一种用于纳米技术研究的有效方法。可应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保...